電子・半導体

電子・半導体

プラクスエアは電子・半導体装置メーカーに以下の施工サービスを提供しております。

  • 製造装置部材へのコーティング 
  • 部材製作および再生 
  • 最先端のセラミックスコーティング

代表的応用部品名

  • チャンバー
  • 電極板
  • 静電チャック
  • 排気リング
  • ライナー