電子・半導体

プラクスエアは電子・半導体装置メーカーに以下の施工サービスを提供しております。

• 製造装置部材へのコーティング 
• 部材製作および再生 
• 最先端のセラミックスコーティング

• チャンバー
• 電極板
• 静電チャック
• 排気リング
• ライナー